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全自动晶圆排片设备

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全自动晶圆排片设备

WTP全自动晶圆排片设备是一款将Wafer上的单颗芯粒，从蓝膜到排到粘性基板上的分选排片设备。

应用场景：单颗Die/Chip从蓝膜到载板的分选排片工艺。

产品咨询电话：13811928592（毛总）
产品咨询邮箱：jian.mao@incubecn.com

  • 来料兼容12寸、8寸Disco铁环

  • 支持最大基板尺寸：330mm*334mm

  • 挑拣晶粒尺寸范围0.15*0.15mm~6*6mm，T≤800μm

  • UPH 27K（0.2*0.2mm晶粒，排片间距≤1.2mm）

  • 排片精度X、Y≦±15um & 角度≦±1°

  • 支持正面、背面AOI检测，避免不良晶粒混入

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